Schichtdicke

Schichtdickenmessung

In allen Industriezweigen begegnen uns Werkstoffe, die zur Verbesserung ihrer Eigenschaften mit dünnen transparenten Schichten unterschiedlichster Zusammensetzung überzogen werden. Fenstergläser erhalten neue Reflexions- und Absorptionseigenschaften, an Keramiken werden dadurch die Abperleigenschaften von Wasser verbessert, Metalle erhalten Überzüge zum Schutz vor Korrosion oder zur Verbesserung der Gleiteigenschaften.

Eine wichtige Rolle spielen transparente Schichten auch in der Halbleiter-, Solar- und Kunststoffindustrie. Damit gewinnt die Schichtdickenmessung sowohl im Labor als auch während des Produktionsprozesses eine herausragende Bedeutung.
 
tec5 Spektrometer Technologie ermöglicht die berührungslose und schnelle Messung von dünnen Schichten. Mittels der Weißlichtinterferenz können transparente Einfach- und Doppelschichten von 0,1 bis ca. 150 µ Dicke sehr genau ermittelt werden. Über Näherungsverfahren lassen sich dünnste Schichten bis in den nm Bereich charakterisieren. Des Weiteren findet man bei Antireflexbeschichtungen häufig λ/4 Schichten, welche spektroskopisch sehr gut auszuwerten sind.

tec5 hat mit seinen Kunden schon zahlreiche Anwendungen mit unterschiedlichen Messmethoden realisiert.

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